超純水設備助力實現(xiàn)芯片生產(chǎn)用水標準

2025-05-16

　　芯片生產(chǎn)對水質的要求嚴苛，需達到電子級超純水標準，其主要指標包括極低的電導率、近乎零的顆粒物與微生物含量，以及嚴格控制的金屬離子濃度。傳統(tǒng)超純水處理工藝多采用離子交換樹脂技術，雖能實現(xiàn)水質凈化，但存在樹脂再生頻繁、人工物力消耗大、廢水排放多等弊端，難以適應現(xiàn)代化大規(guī)模芯片生產(chǎn)的需求。

　　超純水設備通過優(yōu)化工藝配置，構建了多級精密處理體系。預處理系統(tǒng)由多介質過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等組成，可依次去除原水中的懸浮物、膠體、有機物、余氯等雜質，降低水質濁度，為后續(xù)深度處理提供優(yōu)質進水條件。RO 反滲透主機系統(tǒng)利用半透膜的選擇透過性，截留水中的溶解鹽類、大分子有機物及細菌病毒等，使水質得到初步純化，電導率顯著降低。EDI 電除鹽系統(tǒng)作為核心環(huán)節(jié)，結合離子交換樹脂與電場作用，通過陽陰離子膜的定向遷移實現(xiàn)離子深度去除，同時利用水電解產(chǎn)生的氫離子和氫氧根離子對樹脂進行連續(xù)再生，無需傳統(tǒng)化學藥劑，可穩(wěn)定產(chǎn)出高純度超純水。部分工藝還配備拋光混床，進一步提升水質精度，確保各項指標滿足芯片生產(chǎn)的嚴苛要求。

　　與傳統(tǒng)工藝相比，超純水設備具有顯著優(yōu)勢。自動化控制系統(tǒng)可實現(xiàn)全流程智能監(jiān)控與調節(jié)，實時顯示水質參數(shù)與設備運行狀態(tài)，降低人工操作強度的同時保障產(chǎn)水水質穩(wěn)定。設備運行過程中無需頻繁進行樹脂再生，減少了化學藥劑使用與廢水排放，符合綠色生產(chǎn)理念。此外，模塊化設計使其可根據(jù)芯片生產(chǎn)線的用水需求靈活調整處理規(guī)模，從中小型車間到大型晶圓廠均能適配，展現(xiàn)出強大的適用性與擴展性。

　　在芯片生產(chǎn)流程中，超純水主要用于硅片清洗、光刻膠剝離、蝕刻液配制等關鍵工序。水質的穩(wěn)定性直接影響芯片表面的潔凈度與工藝精度，進而決定產(chǎn)品良率與性能。超純水設備通過多級過濾與深度除鹽，有效控制水中的顆粒污染物與離子雜質，為芯片制造提供可靠的水質保障，助力企業(yè)提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品質量。